lithographie à micro-écart et exposition ultraviolette
- lithographie à micro-écart et exposition ultraviolette
- ultravioletinė prošvaisinė litografija
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. ultraviolet proximity lithography; ultraviolet proximity printing
vok. Abstandsbelichtungslithografie mit Ultraviolettstrahlen, f
rus. ультрафиолетовая литография с микрозазором, f
pranc. lithographie à micro-écart et exposition ultraviolette, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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